蚀刻工艺

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资讯三星芯片“秘方”外泄：蚀刻工艺配方多次流向设备供应商泛林韩国韩国三星电子用于半导体制造的蚀刻工艺配方被曝外泄至美国设备商泛林半导体（Lam Research）的韩国分支机构。三星内部调查发现，超出授权范围的数据传输曾多次发生，总部层面已将此事定性为重大… 11-09