中国两大存储芯片巨头长鑫存储与长江存储已从荷兰ASML采购了足够多的DUV光刻机及关键零部件，现有储备量足以支撑未来三年的扩产与日常晶圆制造需求。此次大规模囤积设备，被视为两家存储巨头为应对日益收紧的半导体设备出口管制、保障产能扩张计划不受供应链中断影响的关键举措。消息人士透露，两家晶圆厂储备的设备主要包括NXT:1980系列及其他型号的浸没式DUV光刻机，储备战略还延伸至关键零配件与维护耗材。据称通过多重曝光等复杂的制造工艺创新，两家企业依然能够利用现有的DUV机台推进下一代高密度DRAM和超高层数3D NAND芯片的量产与迭代。

—— 快科技