台积电研发1.6nm A16工艺 计划今年量产
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台积电宣布成功研发了 1.6nm A16 埃米级工艺,并计划于2026年实现量产。该工艺采用行业领先的晶圆背面供电BSPDN技术——SuperPowerRail(SPR,超级电源轨),将供电电源线从晶圆正面迁移至背面,通过VB垂直背面接触孔直接向晶体管源极、漏极供电,实现供电线路与数据信号线物理空间完全分离,消除资源争抢瓶颈,减少电力损耗并提升能效。同时,台积电尽量保留正面栅极结构与布局面积以维持设计兼容性。对比2纳米改良版N2P工艺,A16速度提升8%—10%,功耗下降15%—20%,芯片集成度提升8%—10%。A16工艺适配AI与高性能计算领域,有望进一步巩固台积电领先地位。
—— 观点网、Androidauthority
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